洗浄カセット、強化カセット、ウェハーカセットなどを対応可能 最大対応可能寸法：1500 mm
コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器など、半導体技術は日常に不可欠な多様なデバイスを支えています。半導体製造には、エッチング、洗浄、成膜、イオン注入
