可定制清洗盒架，强化盒架，晶圆体盒架等 最大可对应尺寸：1500mm
半导体技术为日常不可或缺的多样化设备提供支持，如计算机、智能手机、家电产品、车辆、医疗器械等。 在日益走向精密化的半导体制造工艺中，加工装置同样需要做到纳米级加工精度。荏原通过融合各种先进技术制造的高精度加工装置，支持半导体的发展。
